Новейшая разработка компании AIXTRON SE
представляет собой систему для выращивания нитрида галлия на кремнии
производительностью 5×200 мм, в основе которой лежит платформа
планетарного реактора последнего поколения AIX G5®.
Технология была создана в лаборатории исследований и разработок компании
AIXTRON в соответствии с современными тенденциями в мире высоких
технологий и включает в себя специальную конструкцию реактора и ряд
усовершенствований технологического процесса. Система является
продолжением линейки реакторов поколения G5, и любая система G5 может
быть модернизирована до последней версии.
«Технология выращивания нитрида галлия на кремнии в настоящий момент
является актуальной как для производителей, выпускающих установки
МОС-гидридной эпитаксии (MOCVD), так и для компаний использующих эту
технологию для производства – утверждает Д-р Райнер Беккард,
вице-президент по маркетингу компании AIXTRON. – «Технология уже
является наиболее перспективной в быстрорастущем сегменте силовой
электроники, а также многообещающим кандидатом при производстве
высокоэффективных недорогих сверхъярких светодиодов. Размер и материал
подложки играют ключевую роль, когда речь заходит о снижении
себестоимости продукции, и поэтому переход на стандартные кремниевые
подложки диаметром 200 мм является логичным шагом развития технологии,
поскольку это обеспечивает существенную экономию».
В процессе разработки системы AIX G5+ широко использовалось
моделирование, что позволило сконструировать принципиально новые
компоненты реактора, обеспечивающие уникальные характеристики системы
производительностью 5×200 мм при сохранении совместимости с проверенной
платформой G5.
Некоторые предварительные отзывы от пользователей подтверждают успех
данной технологической разработки. Многие из них в особенности отмечают
полную аксиально- симметричную однородность на всех пяти пластинах
диаметром 200 мм, возможность использования кремниевых подложек
стандартной толщины, а также контролируемый изгиб пластин. Эта
уникальная картина однородности присуща всем системам на основе
технологии планетарного реактора AIXTRON, и сейчас она стала доступна
при выращивании пластин 5×200 мм GaN на кремнии в конфигурации реактора
5×200 мм.
Название компании: Сигм плюс, ООО
|
